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沉積氣體

化學(xué)氣相沉積氣體用來(lái)生成沉積薄膜。不同的沉積薄膜需要不同的電子氣體。

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產(chǎn)品介紹
乙硅烷
硅烷
二氯硅烷
正硅酸乙酯
氧化亞氮
六氟化鎢
甲烷

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產(chǎn)品工藝
產(chǎn)品工藝

刻蝕氣體

刻蝕過(guò)程需要電子氣體與被刻蝕物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)?？涛g氣體與被刻蝕物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，導(dǎo)致被刻蝕物消除。

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產(chǎn)品介紹
三氟化氮
四氟化碳
六氟乙烷
八氟環(huán)丁烷
二氟甲烷

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產(chǎn)品工藝
產(chǎn)品工藝

摻雜氣體

離子注入氣體是在作為參雜氣體注入到晶圓表面。

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產(chǎn)品介紹
乙硼烷
三氟化硼
磷烷
砷烷
四氟化硅
六氟化硫

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產(chǎn)品工藝
產(chǎn)品工藝

其他氣體

隨著市場(chǎng)的發(fā)展，公司自主研發(fā)半導(dǎo)體其他工藝所需的稀有氣體及其他混合氣體，解決部分“卡脖子”產(chǎn)品問(wèn)題。

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產(chǎn)品介紹
乙硅烷氫氣混合氣
硅烷氮?dú)饣旌蠚?/a>
硅烷氦氣混合氣

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